SMC最新推出的JLV系列化學液用氣控閥，通過結構設計的創(chuàng)新優(yōu)化，顯著降低了閥門關閉過程中產生的沖擊，進而有效減少微塵生成。該閥體精選高純PFA材質，具備優(yōu)異的耐化學腐蝕性能，可適應更高的工作壓力與背壓條件。在結構設計上兼顧緊湊性與空間節(jié)約，適用于涂膠顯影、化學機械拋光（CMP）、清洗工藝、濕法蝕刻以及藥液輸送等各類濕法工藝環(huán)節(jié)，尤其可滿足28nm及以下更高精尖制程對微?？刂频膰揽烈?。

典型應用場景包括蝕刻設備、CMP系統、涂膠顯影機及清洗裝置等。

其技術亮點主要包括：

微塵控制能力增強：通過對先導排氣結構的優(yōu)化，顯著削弱了閥門閉合時的沖擊效應。

材質抗化學腐蝕：高純PFA確保其在多種化學液環(huán)境中保持穩(wěn)定。

結構緊湊：有效節(jié)約設備安裝空間。

高壓適應性提升：工作壓力與背壓范圍均實現擴展并實現共通化設計。工作壓力覆蓋0–0.5 MPa（較以往產品最大提升66%），背壓支持0–0.5 MPa（較前代產品最大提高150%）。